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8-12寸半自動(dòng)劃片機(jī)

BT3860 精密砂輪劃片機(jī)

高效率高精度高性能

BT3860 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽(yáng)能電池、熱敏電阻、壓電陶瓷、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 

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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

產(chǎn)品介紹

可用于集成電路Q(chēng)FN、壓電陶瓷、發(fā)光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學(xué)器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍(lán)寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機(jī)型。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 

產(chǎn)品介紹:

● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

● 高剛性龍門(mén)式結(jié)構(gòu)

● T軸旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達(dá)

● 進(jìn)口超高精密級(jí)滾柱型導(dǎo)軌

● 進(jìn)口超高精密滾珠型絲桿

● CCD雙鏡頭自動(dòng)影像系統(tǒng)

● 友好人機(jī)交互界面

● 瑞士進(jìn)口滾柱導(dǎo)軌,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線(xiàn)度,實(shí)測(cè)0.9μm

● 采用進(jìn)口研磨級(jí)超高精密滾珠絲杠,定位精度可達(dá)2μm全行程

● 自動(dòng)對(duì)焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線(xiàn)刀痕檢測(cè)功能

● NCS非接觸測(cè)高,BBD刀破損檢測(cè),自動(dòng)修磨法蘭功能

● 工件形狀識(shí)別功能,更加友好人機(jī)界面

● 自動(dòng)化程序著提升

● 滿(mǎn)足各種加工工藝需求



產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目

產(chǎn)品型號(hào)

BT3860 精密砂輪劃片機(jī)


加工尺寸

?305mm/260mm×260mm或定制

X軸

最大速度

600mm/s

直線(xiàn)度

2μm全行程

Y軸

有效行程

310mm

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z軸

有效行程

40mm

單步步盡量

0.0005mm

最大刀輪直徑

60mm或定制

T軸

轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍

380

主軸

最大轉(zhuǎn)速

60000rpm

額定輸出功率

直流1.8/2.4KW

 基礎(chǔ)規(guī)格

電源

220V/50Hz

壓縮空氣

0.5-0.6Mpa、Max220L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

排風(fēng)流量

3m3/min

尺寸(mm)

1080X1160X1810

重量

1200KG



樣品案例

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