機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作。該機(jī)型配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。
應(yīng)用:
12寸IC、PCB、陶瓷、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、石英等材料的精密切割;廣泛用于IC集成電路 (8-12寸)、LED封裝、QFN、DFN、BGA、光學(xué)光電、通訊等行業(yè)。
項(xiàng)目 | 產(chǎn)品型號(hào) | BT8000 精密砂輪劃片機(jī) |
加工尺寸 | ≤?305mm/□260mm*260mm/定制 | |
運(yùn)動(dòng)方式 | 雙軸對(duì)向式、全自動(dòng) | |
X軸 | 最大速度 | 600mm/s |
直線度 | 1.5μm全行程 | |
Y軸 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z軸 | 有效行程 | 40mm |
單步步盡量 | 0.0001mm | |
最大刀輪直徑 | 60mm或定制 | |
T軸 | 轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍 | 380 |
主軸 | 最大轉(zhuǎn)速 | 60000rpm/min |
額定輸出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基礎(chǔ)規(guī)格 | 電源 | 三相AC220V/50Hz |
壓縮空氣 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排風(fēng)流量 | 10m3/min | |
尺寸(mm) | 1288X1618X1810 | |
重量 | 2000kg |
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